3-D-Oberflächenmesstechnik

Die Weißlicht-Interferometrie gehört zu den bewährten optischen Messverfahren für die Erfassung von 3-D-Topografien mit Tiefenauflösungen im unteren Nanometerbereich. Aufgrund der parallelen Erfassung und Verarbeitung der Messpunkte können Höheninformationen großflächig und in sehr kurzer Zeit gewonnen werden. Typische Einsatzfelder in der Qualitätssicherung und in der Forschung sind die Charakterisierung von Oberflächen verschiedener Rauheit (Waferstrukturen, Spiegel, Glas, Metalle), die Bestimmung von Stufenhöhen und die präzise Messung von gekrümmten Oberflächen, wie z.B. Mikrolinsen. Mit der Produktfamilie smartWLI bieten wir innovative Lösungen zur Anwendung dieses Messprinzips. Zur Steuerung und Auswertung des gesamten Messprozesses wird die bewährte smartWLI-Software eingesetzt. Die darin enthaltenen effizienten, robusten und hochgenauen Auswertealgorithmen sind das Ergebnis umfangreicher Forschungstätigkeit und Erfahrung auf diesem Gebiet.